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| KYKY-EM3200系列 | |||||||||
| 經(jīng)濟(jì)型掃描電子顯微鏡 | |||||||||
| 項(xiàng)目 | EM3200 | EM3200Z | EM3200A | EM3200AZ | |||||
| 分辨率 | 6.0nm(30KV) | ||||||||
| 放大倍數(shù) | 1.5x~250,000x | ||||||||
| 電子槍類型 | 發(fā)叉式鎢絲陰極 | ||||||||
| 加速電壓 | 0~30KV | ||||||||
| 透鏡系統(tǒng) | 三級(jí)電磁透鏡 | ||||||||
| 物鏡光闌 | 三個(gè)光闌可在真空外選擇調(diào)節(jié) | ||||||||
| 樣品臺(tái) | 手動(dòng) | X/Y軸自動(dòng) | 手動(dòng) | X/Y軸自動(dòng) | |||||
| 行程 | X | 0~50mm(大樣品臺(tái)0~80mm) | |||||||
| Y | 0~50mm | ||||||||
| Z | 0~25mm(大樣品臺(tái)0~30mm) | ||||||||
| R | 360º | ||||||||
| T | ‘-5º ~90º （大樣品0º~90º） | ||||||||
| 探測(cè)器 | 二次電子探測(cè)器，背散射電子探測(cè)器（可選），X-ray能譜儀（可選） | ||||||||
| 真空系統(tǒng) | 擴(kuò)散泵 | 擴(kuò)散泵 | 分子泵 | 分子泵 | |||||
